发明名称
摘要
申请公布号 JPS451949(Y1) 申请公布日期 1970.01.27
申请号 JP19690013823U 申请日期 1969.02.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/67;B02C1/00;B02C19/00;H01L21/301;H01L21/66;H01L21/68;H01L21/78;(IPC1-7):B02C1/00 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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