| 摘要 |
Un appareil (10) de detection de l'etat d'un fluide pressurise comprend une pastille semiconductrice (42) ayant une portion de diaphragme (49) concu pour etre expose au fluide pressurise et une portion de borne adjacente (51) concue pour etre connectee a un reseau de circuits exterieurs pour effectuer une mesure de l'etat du fluide. La pastille semiconductrice (42) possede des elements detecteurs (62a-e) formes dans la portion de diaphragme (49) et des elements conducteurs (64a-e) en contact electrique avec les elements de detection (62a-e) formes dans la portion de diaphragme (49) et s'etendant depuis celle-ci jusqu'a la portion de borne (51). Une barriere de fluide (53) est prevue pour isoler la portion de diaphragme (49) de la portion de borne (51) pour empecher la portion de borne (51) d'etre exposee au fluide pressurise, tout en permettant au fluide pressurise d'entrer en contact avec la portion de diaphragme (49) de maniere a pouvoir detecter l'etat du fluide sous pression. |
