| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING FLUOROALKYL ACRYLATE POLYMER FILM ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5861106(A) |
申请公布日期 |
1983.04.12 |
| 申请号 |
JP19810159762 |
申请日期 |
1981.10.06 |
| 申请人 |
DAIKIN KOGYO KK |
发明人 |
HATSUTORI SHIYUUZOU;MORITA SHINZOU;FUJII TSUNEO |
| 分类号 |
C08F2/00;C08F2/44;C08F2/52;C08F20/00;C08F20/22;C08F20/24;G03F7/027;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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