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发明名称 Verfahren zur Herstellung von integrierten Schaltungen
摘要
申请公布号 DE2000707(A1) 申请公布日期 1970.11.05
申请号 DE19702000707 申请日期 1970.01.08
申请人 RCA CORP. 发明人 CHUN WANG,CHIH
分类号 C30B25/18;C23C16/24;C30B29/06;C30B29/26;H01L21/205;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
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