Method of controlling gas reactions with solid materials.

摘要

Es wird ein Vertahren zur Regelung von Gasreaktionen mit festen Stoffen beschrieben, insbesondere zur Nitridierung von Siliziumformkörpern. Die Regelung erfolgt bei vorgegebenem Temperatur-Zeit-Programm über eine Druckregelung, wobei gleichzeitig auch eine Messung der verbrauchten Reaktionsgasmengen erfolgt. In einen Grenzwertgeber werden der für die Reaktionsführung optimale Maximaldruck und die ermittelte Maximalmenge an Reaktionsgasdurchsatz eingegeben. Beim Erreichen der eingegebenen Maximalmenge zur Aufrechterhaltung des Maximaldrucks wird vom Grenzwertgeber das Temperatur-Zeit-Programm angehalten, die Druckregelung unterbrochen und eine um 10-50 % verminderte Reaktionsgasmenge dem Reaktionsgut zugeführt. Nach Durchlaufen eines Druckminimums wird beim Wiedererreichen des eingestellten Maximaldrucks das Temperatur-Zeit-Programm und die Druckregelung erneut gestartet.