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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5812985(B2)
申请公布日期
1983.03.11
申请号
JP19750069474
申请日期
1975.06.11
申请人
HITACHI LTD
发明人
IZUMI EIICHI
分类号
H01J49/06;G01N27/62;H01J49/32
主分类号
H01J49/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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