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发明名称
REACTIVE ION ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5839781(A)
申请公布日期
1983.03.08
申请号
JP19810138181
申请日期
1981.09.02
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI KK
发明人
UEDA YOSHIYA;OKUTSU FUMIE
分类号
C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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