| 发明名称 |
MEASURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR SURFACE SHAPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6333836(A) |
申请公布日期 |
1988.02.13 |
| 申请号 |
JP19860176919 |
申请日期 |
1986.07.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUBO MINORU;OGURA MOTOTSUGU |
| 分类号 |
G01B11/16;G01B11/24;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
