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发明名称 SPATTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5834173(A) 申请公布日期 1983.02.28
申请号 JP19810132157 申请日期 1981.08.25
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 KAGEYAMA KATSUHIRO
分类号 C23C14/34;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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