发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5834036(A) 申请公布日期 1983.02.28
申请号 JP19810131489 申请日期 1981.08.24
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI MAIKURO COMPUTER ENGINEERING KK 发明人 YAMAMOTO MASASHI;YOSHINO HIDEAKI
分类号 C30B25/08;B01J19/00;C30B25/00;C30B25/14;H01L21/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
主权项
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