发明名称 DEVICE FOR CONTROLLING PROCESS OF PLASMOCHEMICAL TREATMENT OF SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 SU998582(A1) 申请公布日期 1983.02.23
申请号 SU19813277611 申请日期 1981.04.24
申请人 DOLGOPOLOV VLADIMIR M,SU;KOKHAN NIKOLAJ P,SU;SOLOGUB VADIM A,SU;ROGACHEV BORIS V,SU;KHAJNATSKIJ ANDREJ S,SU;IVANOV VADIM,SU 发明人 DOLGOPOLOV VLADIMIR M,SU;KOKHAN NIKOLAJ P,SU;SOLOGUB VADIM A,SU;ROGACHEV BORIS V,SU;KHAJNATSKIJ ANDREJ S,SU;IVANOV VADIM I,SU
分类号 C23F1/00;C23C8/36;(IPC1-7):23F1/00;23C11/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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