发明名称 Apparatus for accurately imaging information on a film by acharged particle beam.
摘要
申请公布号 EP0071753(A2) 申请公布日期 1983.02.16
申请号 EP19820105891 申请日期 1982.07.01
申请人 IMAGE GRAPHICS, INC. 发明人 TARNOWSKI, ANDREW A.
分类号 G03F7/20;G01D15/14;G03C5/00;G03F7/26;G11B9/10;G11B11/12;G11B23/50;H01J37/16;H01J37/22;H01J37/30;H04N1/23;H04N5/84;(IPC1-7):H04N5/84 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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