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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING NOVEL SILICON SUBSTANCE CONTAINING HYDROGEN
摘要
申请公布号 JPS5826020(A) 申请公布日期 1983.02.16
申请号 JP19810124130 申请日期 1981.08.10
申请人 MEIDENSHA KK 发明人 HABA HOUKI;YOSHIOKA NOBUYUKI
分类号 C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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