发明名称 FABRICATING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICES
摘要
申请公布号 GB8301288(D0) 申请公布日期 1983.02.16
申请号 GB19830001288 申请日期 1983.01.18
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8222;H01L29/72;(IPC1-7):H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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