发明名称 FILM DEPOSITING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8300948(D0) 申请公布日期 1983.02.16
申请号 GB19830000948 申请日期 1983.01.14
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人
分类号 C23C16/505;C23C16/509;C23C16/54;H01J37/18;H01J37/32;H01L21/00;(IPC1-7):G03G5/08 主分类号 C23C16/505
代理机构 代理人
主权项
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