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发明名称
摘要
申请公布号 JPS587060(B2) 申请公布日期 1983.02.08
申请号 JP19750026699 申请日期 1975.03.04
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 OGUCHI HIROHIKO
分类号 H01L21/66;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/47 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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