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发明名称 SYSTEM UND VERFAHREN ZUM SPUTTERN MIT EINER HOHEN RATE
摘要
申请公布号 DE3226717(A1) 申请公布日期 1983.02.03
申请号 DE19823226717 申请日期 1982.07.16
申请人 AMPEX CORP. 发明人 D. CRANK,JAMES
分类号 C23C14/36;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/35;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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