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发明名称 ELEKTROSTATISCHES ABLENKSYSTEM
摘要
申请公布号 DD158726(A3) 申请公布日期 1983.02.02
申请号 DD19800222294 申请日期 1980.07.01
申请人 KUSCHEL,GEORG,DD;REINHARDT,HARTMUT,DD 发明人 KUSCHEL,GEORG,DD;REINHARDT,HARTMUT,DD
分类号 B23K15/00;G21K1/087;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/30;H01L21/203;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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