发明名称
摘要
申请公布号 JPS583372(B2) 申请公布日期 1983.01.21
申请号 JP19740069278 申请日期 1974.06.19
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CO 发明人 TERENSU UIRIAMU OKIIFU;ARAN JOZEFU SAIMON
分类号 H01J37/305;H01J37/304;H01L21/00;H01L21/027 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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