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发明名称
IMPROVED METHOD FOR PLASMA DEPOSITION OF AMORPHOUS MATERIALS
摘要
申请公布号
EP0060625(A3)
申请公布日期
1983.01.19
申请号
EP19820300917
申请日期
1982.02.23
申请人
ENERGY CONVERSION DEVICES INC.
发明人
CANNELLA, VINCENT D.;IZU, MASATSUGU
分类号
H01L31/04;C23C16/24;C23C16/509;H01L21/205;(IPC1-7):H01L31/18;C23C11/06
主分类号
H01L31/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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