发明名称 IMPROVED METHOD FOR PLASMA DEPOSITION OF AMORPHOUS MATERIALS
摘要
申请公布号 EP0060625(A3) 申请公布日期 1983.01.19
申请号 EP19820300917 申请日期 1982.02.23
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES INC. 发明人 CANNELLA, VINCENT D.;IZU, MASATSUGU
分类号 H01L31/04;C23C16/24;C23C16/509;H01L21/205;(IPC1-7):H01L31/18;C23C11/06 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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