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发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0233973(A) 申请公布日期 1990.02.05
申请号 JP19880184367 申请日期 1988.07.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TSUDA NAOYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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