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发明名称 ELECTRIC POWER UNIT FOR ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS57208029(A) 申请公布日期 1982.12.21
申请号 JP19810092185 申请日期 1981.06.17
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 SUGAWARA TOORU
分类号 G21K1/00;G21K1/04;H01J3/04;H01J27/08;H01J37/08;H01J37/248;H05H5/00 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
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