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发明名称 THIN FILM DEPOSITION PROCESS
摘要
申请公布号 GB2208390(B) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 GB19870018653 申请日期 1987.08.06
申请人 THE * PLESSEY COMPANY PLC;* GEC-MARCONI LIMITED 发明人 CHRISTOPHER JOHN * WORT;LYNN YVETTE * DOREY
分类号 H01L21/203;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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