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发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0429319(A) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 JP19900136312 申请日期 1990.05.24
申请人 KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD 发明人 KOBAYASHI KENJI;NAKAYAMA TAKEHISA;MIZUKAMI SEISHIRO
分类号 H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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