发明名称 Method of control of chemico-thermal treatment of workpieces in glow discharge and a device for carrying out the same
摘要
申请公布号 GB2100023(A) 申请公布日期 1982.12.15
申请号 GB19810017327 申请日期 1981.06.05
申请人 AIZENSHTEIN ANATOLY GDALIEVICH;AGRES EVGENY LEIZEROVICH;KIRICHENKO VLADIMIR VASILIEVICH;KOZLOVSKY IGOR AFANASIEVICH;SIZOVA NINA EMELYANOVNA;SOLOMADIN VIKTOR VASILIEVICH;BLINOV VIKTOR NIKOLAEVICH 发明人
分类号 C23C8/36;(IPC1-7):G05F1/02 主分类号 C23C8/36
代理机构 代理人
主权项
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