| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57204133(A) |
申请公布日期 |
1982.12.14 |
| 申请号 |
JP19810088150 |
申请日期 |
1981.06.10 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
TAMAOKI YOUICHI;KURE TOKUO;SHIBA TAKEO;HIGUCHI HISAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/3213;H01L21/763 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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