发明名称 METHOD OF FORMING GATE INSULATOR
摘要
申请公布号 JPS57204173(A) 申请公布日期 1982.12.14
申请号 JP19820084096 申请日期 1982.05.20
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 BUERUNAA GESURAA;ANNERIEZE SUTORUUBE;MANFURETSUDO TSURUHAIDO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/316;H01L29/51 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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