发明名称 METHOD OF CLEANING FILM SURFACE
摘要
申请公布号 JPS57200900(A) 申请公布日期 1982.12.09
申请号 JP19810086458 申请日期 1981.06.05
申请人 SHISUTEMU MAINTENANCE:KK 发明人 HONMA TAKESHI
分类号 G21F9/28;G21F5/00;G21F9/00 主分类号 G21F9/28
代理机构 代理人
主权项
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