发明名称 METHOD OF MEASURING INTERFERING FLATNESS
摘要
申请公布号 JPS57200808(A) 申请公布日期 1982.12.09
申请号 JP19820038259 申请日期 1982.03.12
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 BUARUTAA IEERITSUSHIYU;GIYUNTAA MAKOSHIYU;ARUNO SHIYUMATSUKUFUEFUAA
分类号 G01B11/24;G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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