| 发明名称 |
Method for forming plt thin film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9526698(D0) |
申请公布日期 |
1996.02.28 |
| 申请号 |
GB19950026698 |
申请日期 |
1995.12.29 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B28/12;C23C16/02;C23C16/40;C30B29/32;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316 |
主分类号 |
C30B28/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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