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发明名称
摘要
申请公布号 JPS57191052(U) 申请公布日期 1982.12.03
申请号 JP19810078172U 申请日期 1981.05.28
申请人 发明人
分类号 H01L23/02;H01L21/50;H01L21/56;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
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