发明名称
摘要
申请公布号 DE3032679(C2) 申请公布日期 1982.12.02
申请号 DE19803032679 申请日期 1980.08.29
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 UZEL, YILMAZ, DIPL.-PHYS., 8520 ERLANGEN, DE
分类号 C23F3/06;(IPC1-7):C23F3/00 主分类号 C23F3/06
代理机构 代理人
主权项
地址