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发明名称
摘要
申请公布号
DE3032679(C2)
申请公布日期
1982.12.02
申请号
DE19803032679
申请日期
1980.08.29
申请人
SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE
发明人
UZEL, YILMAZ, DIPL.-PHYS., 8520 ERLANGEN, DE
分类号
C23F3/06;(IPC1-7):C23F3/00
主分类号
C23F3/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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