| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER FESTKOERPER-VORRICHTUNG DURCH PLASMAENTWICKLUNG VON RESISTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3215082(A1) |
申请公布日期 |
1982.11.25 |
| 申请号 |
DE19823215082 |
申请日期 |
1982.04.22 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO.,INC. |
发明人 |
TAYLOR,GARY,NEWTON |
| 分类号 |
C07F7/08;C07F7/18;C08F2/48;C23F1/00;C23F4/00;G03F7/038;G03F7/075;G03F7/36;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00;G03F7/26;G03C1/68;G03C5/24;H01L21/31;H01L21/72 |
主分类号 |
C07F7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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