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发明名称
HIGH DENSITY SILICON NITRIDE-BASE CONTAINER FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPS57188495(A)
申请公布日期
1982.11.19
申请号
JP19810070474
申请日期
1981.05.11
申请人
TOSHIBA CERAMICS KK;TOKYO SHIBAURA DENKI KK
发明人
MATSUO YUKITOSHI;IMANISHI YASUHIRO;NAGASHIMA HIDEO;WATANABE MASAHARU;USAMI TOSHIROU;MURAOKA HISASHI
分类号
C04B41/87;C30B15/10;C30B29/06
主分类号
C04B41/87
代理机构
代理人
主权项
地址
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