发明名称 VORRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN VON DUENNEN SCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE3209792(A1) 申请公布日期 1982.11.04
申请号 DE19823209792 申请日期 1982.03.17
申请人 CLARION CO.,LTD. 发明人 SAKAI,TAKAMASA;SATO,YASUHIKO
分类号 C23C14/00;C23C14/34;C23C16/455;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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