用于糊状物分配器的分配头单元

摘要

本发明提供了一种用于糊状物分配器的分配头单元，该分配头单元包括：分配头部，其上设置有喷嘴；Z轴移动单元，用于使分配头部沿Z轴方向上下移动，以调整喷嘴与基板之间的距离；第一传感器，用于感测喷嘴的垂直位置；第二传感器，固定于Z轴移动单元的固定部上且不沿Z轴方向上下移动，用于感测该第二传感器与基板之间的距离；以及Z轴控制单元，根据由第一传感器感测到的喷嘴的垂直位置和第二传感器感测的其与基板之间的距离来控制Z轴移动单元，其中Z轴控制单元包括：第一调整单元，用于将糊状物分配到基板上之前，将喷嘴与基板之间的距离调整到预定值；以及第二调整单元，用于将糊状物分配到基板上时，将喷嘴与基板之间的距离调整到预定值。

主权项

1. 一种用于糊状物分配器的分配头单元，所述分配头单元包括：分配头部，其上设置有喷嘴；Z轴移动单元，用于使所述分配头部沿Z轴方向上下移动，以调整所述喷嘴与基板之间的距离；第一传感器，用于感测所述喷嘴的垂直位置；第二传感器，所述第二传感器固定于所述Z轴移动单元的固定部上，并且所述第二传感器不沿Z轴方向上下移动，用于感测所述第二传感器与所述基板之间的距离；以及Z轴控制单元，根据由所述第一传感器感测到的喷嘴的垂直位置和所述第二传感器感测到的第二传感器与基板之间的距离来控制所述Z轴移动单元，所述Z轴控制单元包括：第一调整单元，用于将糊状物分配到所述基板上之前，将所述喷嘴与所述基板之间的距离调整到预定值；以及第二调整单元，用于在将所述糊状物分配到所述基板上时，将所述喷嘴与所述基板之间的距离调整到所述预定值。