| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN FUER MOLEKULARSTRAHLNIEDERSCHLAG AUF EINER VIELZAHL SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3211051(A1) |
申请公布日期 |
1982.10.21 |
| 申请号 |
DE19823211051 |
申请日期 |
1982.03.25 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO.,INC. |
发明人 |
CONDON BEAN,JOHN |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;C30B23/02;C30B25/12;H01L21/26;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01J37/31;C23C13/08;C30B23/00;H01L21/20;H01L21/36;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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