| 发明名称 |
SCANNING CHARGED PARTICLE BEAMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2021289(B) |
申请公布日期 |
1982.10.20 |
| 申请号 |
GB19790016108 |
申请日期 |
1979.05.09 |
| 申请人 |
PHILIPS'GLOEILAMPENFABRIEKEN NV |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/147;G01T1/29;H01J37/304;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/265;H04N3/22;(IPC1-7):G05D3/00;H01J37/24 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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