| 摘要 |
라인 백엔드(BEOL) 상호접속들을 위한 삭감 자기 정렬 비아 및 플러그 패터닝이 설명된다. 일례에서, 집적 회로를 위한 상호접속 구조는 기판 위에 배치된 상호접속 구조의 제1 층을 포함한다. 제1 층은 제1 방향의 교대하는 금속 라인들 및 유전체 라인들의 제1 격자를 포함한다. 유전체 라인들은 금속 라인들의 최상면보다 높은 최상면을 갖는다. 상호접속 구조는 상호접속 구조의 제1 층 위에 배치된 상호접속 구조의 제2 층을 더 포함한다. 제2 층은 제1 방향에 수직인 제2 방향의 교대하는 금속 라인들 및 유전체 라인들의 제2 격자를 포함한다. 유전체 라인들은 금속 라인들의 최하면보다 낮은 최하면을 갖는다. 제2 격자의 유전체 라인들은 제1 격자의 유전체 라인들과 오버랩 및 접촉하지만 별개이다. 제1 격자의 금속 라인들은 제2 격자의 금속 라인들로부터 이격된다. |
