发明名称 Device for the determination of the polarisation rate in a light-wave field and use of this device to interferometric and holographic measurements.
摘要 <p>Der lokale Polarisationszustand eines Lichtwellenfeldes wird durch Messung der von einem oder mehreren Polarisatoren bei drei verschiedenen Azimutwinkeln durchgelassenen Strahlung bestimmt. Eine modifizierte Fernsehkamera (7) enthält dazu anstelle der üblichen Farbauszugsfilter drei Polarisationsfilter (12a, b, c), deren Azimutwinkel sich um jeweils 60° unterscheiden. Der lokale Polarisationszustand läßt sich auf einem angeschlossenen Farbmonitor (14) aus der lokalen Helligkeit, dem Farbton und der Farbsättigung erkennen. Die Polarisationskamera (7) kann für elipsometrische Messungen verwendet werden, außerdem in einem interferometrischen System zur Oberflächentopographie und zur Auswertung bei der interferometrischen Holographie. Die Anzeige des Polarisationszustandes auf dem Farbmonitor kann durch elektronische Mittel (15, 16, 17) ergänzt werden, z.B. Hervorhebung von Punkten gleichen Polarisationszustands.</p>
申请公布号 EP0062083(A1) 申请公布日期 1982.10.13
申请号 EP19810102553 申请日期 1981.04.04
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KORTH, HANS-ERDMANN
分类号 G01J4/04;G01B11/30;G01J4/00;(IPC1-7):01J4/00 主分类号 G01J4/04
代理机构 代理人
主权项
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