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发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS57162249(A) 申请公布日期 1982.10.06
申请号 JP19820040666 申请日期 1982.03.15
申请人 SIEMENS SCHUCKERTWERKE AG 发明人 UORUFUGANGU TOUHII
分类号 H01J37/28 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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