MOS APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING ELECTRIC FIELD USING MOS CAPACITOR
摘要
일 실시예는 적어도 하나의 MOS 커패시터에 인가되는 게이트 전압 및 MOS 커패시터에 저장되는 전하량을 조절하여 MOS 커패시터에 저장된 전하량 변화의 민감도를 결정하고, 일정 시간 전기장에 노출시킨 후 전기장에 의한 전자의 유입 또는 유출의 결과를 판독하여 전기장의 세기 및 방향을 해석함으로써 전기장의 세기 및 방향을 측정하는 기술을 제공한다.
