| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3208259(A1) |
申请公布日期 |
1982.09.23 |
| 申请号 |
DE19823208259 |
申请日期 |
1982.03.08 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K. |
发明人 |
AKASAKA,YOICHI;TSUKAMOTO,KATSUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/763;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/72;H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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