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发明名称 FORMATION OF GROUP III-V COMPOUNT
摘要
申请公布号 JPS57145972(A) 申请公布日期 1982.09.09
申请号 JP19810185151 申请日期 1981.11.18
申请人 BURITEITSUSHIYU TEREKOMIYUNIKEESHIYONZU RESEARCH LTD 发明人 RODONII HORANZU MOSU;MAAKU MARIAN FUAKUTAA
分类号 C23C16/30;C22C1/00;C22C28/00;C23C16/18;H01L21/205 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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