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发明名称 DEFECT DETECTOR
摘要
申请公布号 JPS57131039(A) 申请公布日期 1982.08.13
申请号 JP19810016294 申请日期 1981.02.07
申请人 OLYMPUS KOGAKU KOGYO KK 发明人 KATOU KIICHI;SAKAMOTO MASAHARU;YOSHIKAWA SEIJI;YAMAMIYA KUNIO;KODAMA HIROSHIGE;OOSHIMA KEN
分类号 G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G11B7/0037;G11B7/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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