发明名称 MANUFACTURE OF TRICHLOROSILANE
摘要
申请公布号 JPS57129817(A) 申请公布日期 1982.08.12
申请号 JP19810013142 申请日期 1981.01.30
申请人 OOSAKA CHITANIUMU SEIZOU KK 发明人 NAKAYAMA EIICHI;WATANABE FUMITERU
分类号 C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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