| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING OXIDE THIN FILM PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57123826(A) |
申请公布日期 |
1982.08.02 |
| 申请号 |
JP19810009569 |
申请日期 |
1981.01.27 |
| 申请人 |
NIPPON DENSHIN DENWA KOSHA |
发明人 |
MURAKAMI TOSHIAKI;SUZUKI MINORU;ENOMOTO YOUICHI;INUKAI TAKASHI |
| 分类号 |
C09K13/04;C01G1/00;C01G29/00;H01L39/24;H05K3/06 |
主分类号 |
C09K13/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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