| 发明名称 |
DEPOSITED FILMS WITH IMPROVED MICROSTRUCTURES AND METHODS FOR MAKING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3140611(A1) |
申请公布日期 |
1982.07.29 |
| 申请号 |
DE19813140611T |
申请日期 |
1981.03.13 |
| 申请人 |
BATTELLE MEMORIAL INST |
发明人 |
PATTEN J;MOSS R;MCCLANAHAN E |
| 分类号 |
B05D3/00;B32B15/04;(IPC1-7):B05D3/00;C23C11/00;C23C15/00 |
主分类号 |
B05D3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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