Method for the inspection and automatic sorting of objects with configurations of fixed dimensional tolerances, and device for carrying out the method.

摘要

La présente invention concerne un procédé d'inspection et de tri d'objets présentant des configurations avec des tolérances dimensionnelles fixes, tels que les masques, plaquettes de circuits intégrés, modules couramment utilisés dans l'industrie électronique. Le procédé est basé sur la comparaison de l'image d'un objet de référence Iref avec l'image d'un objet à examiner Iexa. Les images Iref et Iexa après saisie et échantillonnage (1) sont seuillées (2) pour produire des images électroniques binaires. Ces dernières sont nettoyées (3) puis cadrées (4) pour que la comparaison des images électroniques résultante IREF et IEXA puisse s'effectuer. L'étape 5 de traitement des images comprend les opérations suivantes: On élabore d'abord les images électroniques IREF max et IREF min qui sont respectivement l'image IREF dilatée et érodée par un élément structurant adapté aux tolérances dimensionnelles de l'objet à examiner. Puis on forme les images des défauts du genre extension et du genre manque on réalisant respectivement des opérations logiques [IREF max OU IEXA] OU EXC. IREF max et [IREF min OU IEXA] OU EXC. IEXA. On analyse alors les images des défauts suivant un critère de rejet préalablement déterminé. Enfin on procède à l'étape finale de tri (6). La présente invention concerne également un équipement de mise en oeuvre, du procédé, qui peut comporter un ordinateur numérique pour automatiser les différentes étapes mentionnées ci-dessus.