摘要 |
<p>Ein akustischer Oberflächenwellenresonator weist ein Substrat mit piezoelektrischer Oberfläche, eine erste und eine zweite reflektierende Gitterstruktur (108, 109) zum Aufrechterhalten von stehenden akustischen Oberflächenwellen auf der piezoelektrischen Oberfläche, sowie eine elektroakustische Wandleranordnung (105, 106) auf der piezoelektrischen Oberfläche auf. Auf dem Substrat ist gemeinsam eine Vielzahl von Einzelresonatoren (101, 102) angeordnet, die je einen elektroakustischen Wandler der Wandleranordnung aufweisen. Die Wandler sind mit einer gemeinsamen Zuleitung (103, 104) verbunden, so daß die Einzelresonatoren parallel betrieben werden. Auf diese Weise läßt sich ein Oberflächenwellenresonator realisieren, der eine hohe Belastbarkeit mit minimaler Neigung zu Nebenschwingungen verbindet.</p> |